MTP 系列 | 適用高真空高真空機(jī)器人 Vacuum Robot
日期：2023/6/24 17:50:17 / 閱讀： / 來源：本站
實(shí)現(xiàn)了低震動(dòng)?低噪音，可以支持次世代半導(dǎo)體制造裝置。
產(chǎn)品特點(diǎn)
全軸采用伺服電機(jī)，根據(jù)獨(dú)自的構(gòu)造，支持10＾-6Pa的真空環(huán)境。
關(guān)于末端執(zhí)行器部，晶圓保持部的材質(zhì)請(qǐng)另行咨詢。
也可以提供無升降功能（Z軸）的機(jī)型。（請(qǐng)您咨詢）。
采用分支構(gòu)造，將雙手掌的回旋半徑控制在最小。
Specification
作者：admin