MAF-R 系列 | 高清潔傳送系統(tǒng) Pre-Aligner
日期：2023/6/24 20:00:46 / 閱讀： / 來源：本站
本制品采用非接觸方式，可高速調(diào)整晶圓的定向平面及中心定位。
產(chǎn)品特點
晶片的中心定位及角度調(diào)整采用非倒換方式，從而實現(xiàn)了高速處理。
對應(yīng)φ200mm～φ300mm SEMI/JEIDA硅晶圓。
自動識別晶圓的尺寸及V形切口，定向平面，省略了上級控制器的設(shè)定。
內(nèi)置型控制器的緊湊設(shè)計。
可以通過RC232或RS485串列通信，或者光學(xué)I/O并聯(lián)通新的方式進(jìn)行控制。
傳感器采用了CCD方式的受光素子，實現(xiàn)了高處理量。
Specification
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