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MAF-M 系列 | 高清潔傳送系統 Pre-Aligner

日期：2023/6/24 20:08:00 / 閱讀： / 來源：本站

  

      支持高速化合物，玻璃制品邊緣保持式，采用不接觸背面方式，將晶圓的顆粒物污染控制在最小。一款適用φ300mm晶圓的機械嵌校準器。

  產品特點

  也可以支持化合物半導體及玻璃晶圓（請另行咨詢）。

  只接觸晶圓的邊緣，實現了清潔定位的概念。

  自動識別晶圓的V形切口及定向平面，省略了上級控制器的設定。

  內置型控制器的緊湊設計。

  Specification

作者：admin

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