MTQ 系列 | 伺服電機自由訪問型智能機器人 Atmospheric Robot
日期：2023/6/24 20:16:11 / 閱讀： / 來源：本站
伺服電機自由訪問型智能機器人，本產品是對應直徑300mm晶圓的智能傳送機器人。是龍云產品中事先告訴傳送，高清潔的旗艦版。
產品特點
以無導軌方式對應3FOUP。
通過替換裝置，實現了晶圓的高速替換。
可以有償選擇映射傳感器。
R?T與Z軸可分離的構造，讓日常的保養更簡單。可以對應大行程的升降高度。
提升機械臂的剛性，也為您準備了傳送450mm晶圓的機型。
Specification
作者：admin